| 调整维度 | X轴 | Y轴 | Z轴 | θX θY | θZ |
| 行程 | 25mm | 25mm | 5mm | ±5° | 360° |
| 分辨率 | 0.01mm | 0.01mm | 0.005mm | --- | 2′ |
| 轴向间隙 | 0.003mm | 0.003mm | 0.003mm | --- | --- |
| 粗调范围 | 25mm | 25mm | 5mm | --- | 360° |
| 粗调范围 | 25mm | 25mm | 5mm | --- | ±10° |
| 精度 | 0.003mm | 0.003mm | 0.003mm | 0.1° | 2′ |
| 中心负载(Kg) |
2kg |
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| 台面尺寸 | 125x75 | ||||
| 自重 | 5.5kg | ||||
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