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2025-05
检测仪器
一文读懂光学元件面型检测报告
现代光学工程向一大一小两个方向发展,“大”是指大口径拼接技术,离轴非球面技术,往往应用于大型望远镜、空间望远镜、惯性制约聚变(ICF)装置。“小”是指亚纳米级高精度面型,低中高频粗糙度,多应用于DUV、EUV光刻设备。 高端光学系统的研制需…